Dezentrales Abluftreinigungssystem für die Halbleiterindustrie

Als dezentrales Abluftreinigungssystem speziell für die Halbleiterindustrie wurde eine Anlage, bestehend aus einer Hochtemperaturplasmastufe und einem nachgeschalteten Nasswäscher, entwickelt. Die Anlagen sind seit 2005 erfolgreich im Einsatz.

Kern der Anlage ist ein mit Wasserdampf als Plasmagas betriebener Plasmabrenner. Die Anlage arbeitet vollautomatisch.


FCKW-Spaltanlagen

Speziell zur Reinigung von Abluft mit hohem FCKW-Gehalt wurde eine Technologie mit einer Wasserdampfplasmaquelle entwickelt. In einem Hochtemperaturreaktor zersetzen sich die chlorierten und flourierten Kohlenwasserstoffe und reagieren mit dem Wasserplasma zu leicht abreinigbaren Bestandteilen.

Die Anlage ist seit über 10 Jahren im industriellen Einsatz.


Nassabscheider zur Staubabscheidung

Die großen Vorteile eines Nassabscheiders sind die unübertroffene Robustheit und Wartungsfreundlichkeit, sowie verfahrenstechnische Vorteile, wenn es darum geht, gasförmige Partikel abzuscheiden, oder die gereinigte Luft bei bestimmten Prozessen zu konditionieren.

Staubabscheider

Venturi Staubabscheider und Wirbelwäscher bieten hocheffiziente und wartungsarme Abscheidung von Stäuben bei der Bearbeitung von brand- und explosionsgefährdeten Materialien.

Das Wirkprinzip der Nassabscheidung

Die im Gasstrom dispergierten Partikel werden mit einer Waschflüssigkeit in Kontakt gebracht, um sie darin zu binden. Dazu muss eine möglichst große Phasengrenzfläche zwischen Gas (Luft) und der Flüssigkeit erzeugt werden. Es erfolgt eine Strömungsumlenkung des Gases. Durch die Massenträgheit bewegen sich die Partikel zur Flüssigkeitsoberfläche hin und werden dort eingebunden oder angelagert.

Die Vorteile des Nassabscheiders für Staub

  • Betrieb ohne Filterelemente
  • Die sicherste Lösung für die Bearbeitung von brand- und explosionsgefährdeten Materialien
  • Für viele Anwendungen geeignet
  • Hoher Abscheidegrad bei höchster Betriebssicherheit
  • Wartungsarm